A-322 PIglide, kolejny liniowy moduł XY z oferty firmy Physik Instrumente zawiera łożyska powietrzne nie wykazujące tarcia. Zapewnia on szybkość przesuwu do 1000 mm/s i pozwala uzyskać rozdzielczość na poziomie 1 nm. Parametry te są wystarczające do zastosowań np. w systemach inspekcyjnych pracujących w strefach czystych, wymagających dużej precyzji przy równocześnie dużej przepustowości.
Przykładem może być inspekcja paneli fotowoltaicznych i płytek krzemowych. A-322 PIglide może być wyposażony w 3 precyzyjne enkodery liniowe, inkrementalne lub absolutne: jeden dla osi dolnej (mostu) i dwa dla osi górnej (wsporników).
Dzięki zastosowaniu nieżelaznych silników liniowych zapewniono płynny ruch głowicy bez momentu zaczepowego ani sił przyciągania.
Ważniejsze dane techniczne: